真空阀门是指用于改变空气流动方向、调节空气流量以及切断或连接真空系统中管道的真空系统部件。真空阀关闭部件用橡胶密封圈或金属密封圈密封。

真空电磁阀由交流或者是直流电源控制打开和关闭。它可以利用电磁原理实现管道的真空处理。主要用于真空管道或带真空泵的联动控制系统。同时它由电磁铁直接操作，并控制阀门的打开和关闭，并向真空容器中充入大气，从而实现自动控制或远程控制。

实现电磁控制可以极大地影响管道系统的整体工作状态，真空电磁阀的使用还可以有效避免其他不相关因素对管道的影响，从而对管道系统的工作状态做出正确的调整。

当真空电磁阀安装在机械真空泵中时，阀和泵连接到同一电源，泵的打开和停止直接控制阀的打开和关闭。当泵停止工作或电源突然切断时，阀门会自动关闭真空系统，通过泵的进气口向泵腔内充入空气，防止泵油回流污染真空系统。

在使用真空阀门中重要的一点就是阀门的密封性能，它是指阀门各密封部分防止介质泄漏的能力，这也是阀门重要的技术性能指标。如果真空阀关闭不紧而出现泄漏情况，将影响阀门切断介质的能力。对于截断阀，更是不允许泄漏。因为泄漏会造成物料损失，污染环境，甚至造成严重事故。对于易燃、易爆、有毒或放射性介质，也是不允许出现泄漏情况的，因此阀门必须具有可靠的密封性能。

那么如何判断真空阀门密封性的好坏呢？

使用热导式气体传感器来检测真空阀门的真空度，以此来保证真空阀门密封良好。法国Endetec 热导式气体传感器 - MTCS2601具有基于帕拉尼原理的真空度检测，功耗比较低，寿命长和免维护等优势。该热导式气体传感器适用于恶劣环境下初级压力控制，同时，硅晶片上有加热电阻，并且有优异的温度补偿。

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